- 相關(guān)推薦
微電子機械系統運動(dòng)方案設計
1、微電子機械系統的概述
1.1微電子機械系統的概念
微電子機械系統主要結構有微型傳感器、制動(dòng)器以及處理電路。其是一種微電子電路與微機械制動(dòng)器結合的尺寸微型的裝置，其在電路信息的指示下可以進(jìn)行機械操作，并且還能夠通過(guò)裝置中的傳感器來(lái)獲取外部的數據信息，將其進(jìn)行轉化處理放大，進(jìn)而通過(guò)制動(dòng)器來(lái)實(shí)現各種機械操作。而微電子機械系統技術(shù)是以微電子機械系統的理論、材料、工藝為研究對象的技術(shù)。微電子系統并不只是單純的將傳統的機電產(chǎn)品微型化，其制作材料、工藝、原理、應用等各個(gè)方面都突破了傳統的技術(shù)限制，達到了一個(gè)微電子、微機械技術(shù)結合的全新高度。微電子機械系統是一種全新的高新科學(xué)技術(shù)，其在航天、軍事、生物、醫療等領(lǐng)域都有著(zhù)重要的作用。
1.2微電子機械系統技術(shù)的特點(diǎn)
1.2.1尺寸微型化
傳統機械加工技術(shù)的最小單位一般是cm，而微電子機械系統技術(shù)下的機械加工往往最小單位已經(jīng)涉及到了微米甚至納米。這以尺寸的巨大變化使得微電子機械系統技術(shù)下的原件具有微型化的特點(diǎn)，其攜帶方便，應用領(lǐng)域更加廣闊。
1.2.2集成化
微電子機械系統技術(shù)下的原件實(shí)現了微型化為器件集成化提供了有力的基礎。微型化的器件在集成上具有無(wú)可比擬的優(yōu)勢，其能夠隨意組合排列，組成更加復雜的系統。
1.2.3硅基材料
微電子機械系統技術(shù)下的器件都是使用硅為基加工原料。地面表面有接近30%的硅，經(jīng)濟優(yōu)勢十分明顯。硅的使用成本低廉這就使得微電子機械系統技術(shù)的下的器件成本大大縮減。硅的密度、強度等于鐵相近，密度與鋁相近，熱傳導率與鎢相近。
1.2.4綜合學(xué)科英語(yǔ)
微電子機械系統技術(shù)幾乎涉及到所有學(xué)科，電子、物理、化學(xué)、醫學(xué)、農業(yè)等多個(gè)學(xué)科的頂尖科技成果都是微電子機械系統技術(shù)的基礎。眾多學(xué)科的最新成果組合成了全新的系統和器件，創(chuàng )造了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域。
2、微電子機械系統的技術(shù)類(lèi)別
2.1體微機械加工技術(shù)
體微機械加工技術(shù)主要將單晶硅基片加工為微機械機構的工藝，其最大的優(yōu)勢就是可以制作出尺寸較大的器件，最大的弊端是難以制造出精細化的靈敏系統。并且使用體微加工工藝難以?xún)?yōu)化器件的平面化布局，制作出來(lái)的器件難以與微電子線(xiàn)路直接兼容。體微機械加工工藝一般在壓力傳感器和加速度傳感器的制造中普遍應用。
2.2表面微機械加工技術(shù)
表面微機械加工技術(shù)就是通過(guò)集成電路中的平面化技術(shù)來(lái)實(shí)現微機械裝置的制造。其主要優(yōu)勢表現在充分利用了已有的IC工藝，能夠靈活掌握機械器件的尺寸，因此表面為微機械加工技術(shù)與IC之間是兼容的。表面微機械加工技術(shù)與集成電路的良好兼容性使得其在應用領(lǐng)域實(shí)現了快速普及。
2.3復合微機械加工技術(shù)
復合微機械加工技術(shù)就是體微機械技工技術(shù)與表面微機械加工技術(shù)的結合，其結合了兩者的優(yōu)點(diǎn)，但又同時(shí)避免了相應缺點(diǎn)。
3、微電子機械技術(shù)的應用
3.1環(huán)境科學(xué)領(lǐng)域
微電子機械系統技術(shù)下的微型設備可以在環(huán)境監測和數據處理分析上發(fā)揮巨大的作用。由化學(xué)傳感器、生物傳感器以及數據處理系統所集合的測量與處理設備。該微型裝置可以用來(lái)監測空氣和液體的成分，其獨特優(yōu)勢在于尺寸微小，便于攜帶。
3.2軍事領(lǐng)域
納米器件所構成的裝置先要對半導體器件運行速度高，攜帶方便，信息輸出和處理快捷，在軍事領(lǐng)域其能夠用來(lái)制作各種微型設備，例如“蚊子導彈”、“麻雀衛星”等。
3.3醫療領(lǐng)域
在臨床化驗分析、介入治療領(lǐng)域其也能夠實(shí)現巨大的價(jià)值。近幾年獲得發(fā)展的介入治療技術(shù)與傳統治療技術(shù)相比臨床治療效果優(yōu)越，能夠有效緩解患者痛苦。但是當前介入治療儀器價(jià)格高，體積巨大，準確性難以保證，尤其是在治療重要器官時(shí)風(fēng)險較大。微電子機械系統技術(shù)的微型與智能特性可以顯著(zhù)降低介入治療的風(fēng)險。
4、結束語(yǔ)
微電子機械系統技術(shù)將機電系統的實(shí)用性、智能化和多樣化發(fā)展到了一個(gè)全新的高度。當今微電子機械系統技術(shù)已經(jīng)對農業(yè)、環(huán)境、醫療、軍事等領(lǐng)域產(chǎn)生了重大的影響，也影響著(zhù)人們的生產(chǎn)和生活方式，相信在不久的以后微電子機械系統技術(shù)將會(huì )成為我國社會(huì )經(jīng)濟發(fā)展不可或缺的重要部分，為我國經(jīng)濟發(fā)展起到巨大的推動(dòng)作用。
【微電子機械系統運動(dòng)方案設計】相關(guān)文章：
基于碳—微電子機械系統的超級電容器的研究進(jìn)展論文07-03
運動(dòng)方案設計07-02
大班親子運動(dòng)的活動(dòng)方案設計07-04
微電子工程就業(yè)前景06-30
微電子自我介紹07-04
微電子實(shí)習報告02-26
方案設計資質(zhì)方案設計07-02